金屬有機化學氣相沉積系統(tǒng)MOVPE設(shè)備：針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發(fā)的臺式等離子輔助（PA-MOCVD）,該系統(tǒng)具有5個鼓泡裝置（各帶獨立的冷卻槽）、加熱的氣體管路、950度樣品臺三個氣體環(huán)、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵（5 x 10-7Torr極限真空）、PC全自動控制。

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更新時間：2025-09-17
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概述：

NANO-MASTER針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發(fā)的臺式等離子輔助(PA-MOCVD),該系統(tǒng)具有5個鼓泡裝置(各帶獨立的冷卻槽)、加熱的氣體管路、950度樣品臺三個氣體環(huán)、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵(5 x 10^-7Torr極限真空)、PC全自動控制，*的安全互鎖。

目前，這項技術(shù)延伸到5個4"晶圓的立柜式獨立批處理系統(tǒng)，該系統(tǒng)可以集成到集群配置中以滿足高產(chǎn)量的要求。

金屬有機化學氣相沉積系統(tǒng)MOVPE設(shè)備應用：

Green LED’s (GaN, InGaN, AlGaN, ...)

金屬有機化學氣相沉積系統(tǒng)MOVPE設(shè)備特點：

獨立系統(tǒng)
14”不銹鋼立方體腔體
1次在8”樣品臺上處理1個6”晶圓片或在12”樣品臺上處理5片4”片子
加熱的氣體管路
RF等離子源，自動調(diào)諧
淋浴頭氣體分布
1100°C的旋轉(zhuǎn)樣品臺
N2沖洗
手動放置晶圓片

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