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全自動(dòng)磁控濺射系統(tǒng)是一種利用磁場(chǎng)控制等離子體濺射技術(shù)在基材上沉積薄膜的材料制備設(shè)備。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電、材料科學(xué)、裝飾鍍膜等領(lǐng)域，用于生產(chǎn)各種功能性和裝飾性薄膜。通過(guò)精確控制濺射過(guò)程中的各種參數(shù)，實(shí)現(xiàn)了高效率、高穩(wěn)定性和高質(zhì)量的薄膜沉積。工作原理基于濺射效應(yīng)，即在真空環(huán)境下，通過(guò)電場(chǎng)加速的氣體離子（通常是氬離子）轟擊靶材，使靶材原子或分子被轟擊出來(lái)，然后沉積在基材上形成薄膜。磁控部分則是通過(guò)靶材背后的磁場(chǎng)設(shè)計(jì)，有效延長(zhǎng)了電子在等離子體中的運(yùn)動(dòng)路徑，提高了氣體離化率和濺射效...

靜態(tài)SIMS是一種非常靈敏的表面分析技術(shù)，能在只消耗樣品單層一小部分的情況下，獲得詳細(xì)的質(zhì)譜圖。被分析的分子來(lái)自固體表面前幾層，這對(duì)于探討材料關(guān)鍵區(qū)域例如附著力或催化等性質(zhì)至關(guān)重要。Kore公司的TOF-SIMSSurfaceSeer系列產(chǎn)品為科研和工業(yè)領(lǐng)域提供了高性價(jià)比的表面分析解決方案。以下數(shù)據(jù)展示了SurfaceSeer儀器在材料研究和分析方面的一些優(yōu)勢(shì)。實(shí)驗(yàn)質(zhì)量分辨率和準(zhǔn)確性圖1.污染鋁接頭近來(lái)，儀器的質(zhì)量分辨率和準(zhǔn)確度均已經(jīng)提高到2000（M/ΔM）以上。上圖展示了...

飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜（TOF-SIMS）是一種表面分析技術(shù)，它將脈沖一次離子束聚焦到樣品表面，在濺射過(guò)程中產(chǎn)生二次離子。分析這些二次離子可提供有關(guān)樣品表面的分子、無(wú)機(jī)和元素種類的信息。例如，如果表面吸附了有機(jī)污染物（如油），TOF-SIMS將揭示這些信息，而其他技術(shù)則難以實(shí)現(xiàn)，特別是在污染物含量極低的情況下。由于TOF-SIMS是一種測(cè)量技術(shù)，因此通?？梢詸z測(cè)到元素周期表中的所有元素，包括H。此外，這種分析可以提供質(zhì)譜信息;樣品上XY維度的圖像信息;以及Z方向的深度剖面信息到...

什么是TOFSIMS?它可以應(yīng)用于哪些領(lǐng)域？能提供哪些信息？哪些樣品適用（哪些不適用）？在這一系列文章中，我們將解答所有這些問(wèn)題，以及更多探討。飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜法（ToFSIMS）是一種用于研究固體表面和薄膜的三維化學(xué)組成的表面分析技術(shù)。聚焦的一次離子束轟擊目標(biāo)表面，產(chǎn)生中性原子/分子、二次離子和電子。二次離子通過(guò)飛行時(shí)間質(zhì)譜儀進(jìn)行收集和分析。質(zhì)譜儀通過(guò)精確測(cè)量離子到達(dá)探測(cè)器所需的時(shí)間(即“飛行時(shí)間”)來(lái)測(cè)量離子的質(zhì)荷比(m/z)。通過(guò)掃描一次離子束在樣品表面的區(qū)域，可以...

二次離子質(zhì)譜儀是一種強(qiáng)大的表面分析工具，它能夠在微觀層面上提供關(guān)于材料成分和結(jié)構(gòu)的詳細(xì)信息。它的應(yīng)用范圍廣泛，從材料科學(xué)到生物醫(yī)學(xué)，從半導(dǎo)體工業(yè)到地球科學(xué)。盡管SIMS具有許多優(yōu)勢(shì)，但它的操作和維護(hù)相對(duì)復(fù)雜，需要專業(yè)的技術(shù)人員和持續(xù)的培訓(xùn)。二次離子質(zhì)譜儀的技術(shù)原理：1.一次離子束：一次離子束是由離子源產(chǎn)生的高能離子，通常使用銫離子，它們被加速到高能量并聚焦成細(xì)小的束流。2.二次離子產(chǎn)生：當(dāng)一次離子束轟擊樣品表面時(shí)，會(huì)將表面原子或分子激發(fā)為離子，即二次離子。3.質(zhì)譜分析：產(chǎn)生的...

空間環(huán)境模擬試驗(yàn)設(shè)備是一種高精尖的實(shí)驗(yàn)室設(shè)備，旨在模擬太空中的特殊環(huán)境條件，如超低溫、高真空、太陽(yáng)輻射、微重力、宇宙射線、原子氧侵蝕等。這些設(shè)備對(duì)于研發(fā)和測(cè)試航天器、衛(wèi)星、探測(cè)器以及其他將要在太空中使用的材料和系統(tǒng)至關(guān)重要。空間環(huán)境模擬試驗(yàn)設(shè)備應(yīng)用領(lǐng)域：1.航天器研制：對(duì)整星或部件進(jìn)行環(huán)境試驗(yàn)，驗(yàn)證其性能和可靠性。2.材料研究：測(cè)試新材料在太空環(huán)境下的性能，為航天器選材提供依據(jù)。3.生命科學(xué)：研究生物組織在太空環(huán)境下的變化，為載人航天提供支持。4.物理科學(xué)實(shí)驗(yàn)：在模擬的太空環(huán)...

空間環(huán)境模擬試驗(yàn)設(shè)備是一種用于在地面模擬宇宙空間環(huán)境的高科技測(cè)試系統(tǒng)。這類設(shè)備通常用于對(duì)航天器、衛(wèi)星、空間站等航天器材進(jìn)行環(huán)境適應(yīng)性測(cè)試，確保它們能夠在真實(shí)的外太空環(huán)境中正常工作。通過(guò)一系列的高技術(shù)手段來(lái)模擬外太空的環(huán)境。例如，使用真空泵系統(tǒng)來(lái)模擬太空的真空環(huán)境；利用加熱和制冷裝置來(lái)模擬溫度的特殊變化；通過(guò)紫外燈或粒子加速器來(lái)模擬太陽(yáng)輻射；以及利用高速粒子噴射或機(jī)械沖擊裝置來(lái)模擬微流星體的沖擊效果。這些設(shè)備通常配備有精密的控制系統(tǒng)和監(jiān)測(cè)儀器，以確保測(cè)試條件的精確性和重復(fù)性。空...

微波等離子去膠機(jī)是一種先進(jìn)的半導(dǎo)體制造設(shè)備，用于去除晶圓表面的光刻膠。在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，光刻是一種關(guān)鍵技術(shù)，通過(guò)它可以將電路圖案轉(zhuǎn)移到硅片上。光刻過(guò)程需要在硅片表面涂覆一層光敏材料，稱為光刻膠。在光刻過(guò)程完成后，需要將未曝光的光刻膠去除，這一步驟稱為去膠。傳統(tǒng)的去膠方法包括濕化學(xué)清洗和等離子清洗，但這些方法可能會(huì)對(duì)硅片表面造成損傷或者處理效率較低。等離子去膠機(jī)利用微波激發(fā)的等離子體來(lái)去除光刻膠，具有高效、環(huán)保、對(duì)硅片表面無(wú)損傷等優(yōu)點(diǎn)。微波等離子去膠機(jī)的工作原理是利用微波能量...